通过**转子设计与怠速功能，实现节能和小型化。有助于降低运行成本。此外，还可选择耐腐蚀性材料选配件，从预真空锁、SEM等轻负荷用途到腐蚀性工艺，能够广泛满足各种不同应用需求。
| 设备名称 | 单位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
| 排气速度 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 | |
| 极限压力 | Pa | 2.0 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 连接口径 | 吸气口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 电源 相／电压／频率 | 200V机型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V机型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 电源容量 | kVA | 4.0 | 7.0 | 7.0 | 12.3 | |
| 质量概值 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 | |
