搭载了新开发的高效搬运结构和WPH优化算法。保持采用单桌单头、双模块方式等荏原的高可靠性结构，进一步了提高生产效率。采用灵活的搬运结构并进一步实施防止交叉污染的措施，帮助提高成品率。此外，还采用了便于进行改造和升级的模块结构，在未来扩展功能时，也能够迅速导入新功能。此外，与F-REX300X型相比耗电量减少了约10%，并通过减少部件数量，削减了供应链中的CO2排放。支持更环保的半导体制造。
干进干出
工艺性能*
高处理量
高运转率
满足多级药液清洗要求
研磨加工终点检测监控仪（选配）
在线膜厚检测仪（选配）
多样化功能与灵活的装置结构组成
满足SEMI-2/CE要求
北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）
