ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS120A

发布时间:2025-04-27

特征

  • 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊的表面处理,实现了高耐腐蚀性。
  • 螺旋式转子轴采用的 ULVAC 设计,可提供高粉末排放性能。
  • 从大气压到极限压力的整个压力范围内均可连续运行。

应用

  • 真空排气系统
    蚀刻设备、灰化设备、电子零件等离子清洗设备、半导体制造设备等。
  • 真空热处理炉、
    烧结炉、渗碳炉等真空排气系统。
  • 锂电池制造设备真空排气系统
    、电极干燥设备、脱气设备、注液设备等。
  • 医疗及食品相关设备、
    冷冻干燥设备、真空干燥设备等的真空排气系统。

*MS1200A 可配备附加控制板和传感器。请联系我们。

规格

模型 MS120A MS600A MS1200A
*抽速*1 立方米/小时 115 560 980
极限压力 爸爸 ≦0.6 ≦0.1
电源电压 三相,50/60Hz,AC200-240V±10%或三相,50/60Hz,AC380-480V±10%
大约功耗*2 千瓦 2.4 3.1 3.1
冷却水量 升/分钟 >4.0
吹扫气体量*1 空间光调制器 0~50
*水蒸气处理量
*1*3
公斤/小时 1.5
噪音等级*2 分贝(A) 61 62 64
进气口 KF50(卧式) / VG50(立式) ISO-F-80 ISO-F-100
排气口 KF40
质量*4 公斤 139 241 264
合规标准 CE、cTUVus
标准配件 快速手册、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器保护罩、消音器套装
主机选项 电源电压:200V或400V级
密封材料:氟橡胶(FKM)或全氟弹性体(FFKM)
外部选项 外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元(进气口、信号)、吹扫气阀

*1:代表值
*2:极限压力
*3:使用吹扫气体时的*水蒸气处理能力。
*4: 含消音器


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