膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。
价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。 气体接触区域不使用油的干式真空泵。 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。 单级排气系统比两级排气系统更快。 具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。 大气压下可以运作。 真空吸盘，晶圆和*处理设备。 真空镊子，医疗器械。 印刷设备。 自动包装机。 光学器具。 半导体行业。 注塑机。特点
用途
※1：极限压力如（）真空计显示。 ：标准、○：可选对应、－：对应不可 １ 如果在负载运作期间停止泵，然后立即重新启动，则可能无法重新启动。 ２ 请不要吸入腐蚀性气体，有机溶剂，液体和可冷凝气体（如水蒸气）。 ３ 泵启动时会有大电流流过。 ４ 仅供室内使用规格
Unit50Hz60Hz有效排气速度L/min6072极限压力※1Pa (kPa)21.3×103 （-80.0）使用电动机 单相, 100V, 200W, 4P, 分相启动全负荷电流A5.65.0重量kg11.0吸/排出孔（内螺纹尺寸）mmO.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4)使用环境温度范围℃7～40*尺寸mm212(W)×278(L)×224.5(H) 对应标准/电压
型号标准ＣＥ自我宣言1Φ100V1Φ115V1Φ200V1Φ220VDA-60S－－－○○ 使用上的注意
在这种情况下，将泵内部恢复到大气压。
另外，请确保污垢和灰尘不会进入泵内部。
在短时间内频繁打开和关闭泵电源可能会导致问题。
不要经常频繁打开/关闭电源。
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。尺寸图
排气速度曲线
