LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3202L-TC
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3202L-TC
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。
质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。
典型应用场景
1. 半导体制造：
晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）
CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）
离子注入（BF₃/PH₃配气）
2. 新能源领域：
燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）
锂电材料烧结（N₂/O₂混合控制）
光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）
3. 制药行业：
生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）
冻干机惰性气体保护（露点控制<-70℃）
无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）
4. 科研实验：
催化反应研究（多路气体并行控制）
质谱仪载气调节（0.1-10mL/min微流量）
环境模拟实验（温湿度联动控制）
| 温度 | *小压差 | *压差 | 精度 | 控制范围 | *小F.S. | *F.S. | 密封材 |
|
| Low | 80～100℃ |
50kPa |
300kPa | ±1%F.S. | 2~*F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ |
50kPa |
300kPa | ±1%F.S. | 2~*F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
技术发展趋势
智能化升级：
集成AI预测性维护功能
5G远程监控与参数优化
微型化发展：
MEMS流量传感器（芯片级集成）
适用于便携式分析仪器
LINTEC（琳得科）是一家全球*的高性能胶带、粘合材料及功能性薄膜制造商，部位于日本，成立于1954年。凭借过半个世纪的技术积累与创新，LINTEC已成为电子、汽车、建筑、印刷包装等行业的核心材料供应商，以*的产品质量和*的解决方案闻名。