螺杆式干式真空泵由两个平行的螺杆转子旋转，转子与壳体内壁之间以及转子之间保持微小间隙，转子与壳体之间形成的空间沿轴向连续移动。气体从进气口吸入该空间，并在被送往排气侧的过程中通过压缩和移动而被排出。螺杆转子有矩形、螺旋形和莱斯霍尔姆型。
*MS1200A 可提供其他控制板和传感器规格。详情请联系我们。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| *抽速*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 爸爸 | ≦0.6 | <=0.1 | |
| 电源电压 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大约功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体量*1 | 空间光调制器 | 0~50 | ||
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*水蒸气处理量 *1*3 |
公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音等级*2 | 分贝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50（卧式）/VG50（立式） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 合规标准 | CE、cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速手册、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器保护罩、消音器套装 | |||
| 主机选项 |
电源电压：200V或400V级 密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟弹性体（FFKM） |
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| 外部选项 | 外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元（进气口、信号）、吹扫气阀 | |||
*1：代表值
*2：极限压力
*3：使用吹扫气体时的*水蒸气吞吐量。
*4：包括消音器
