ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS120A-C-深圳市京都玉崎电子有限公司

特征

（*1）对于 LS120A-C
（*2）对于 C 规格
（*3）对于 L 规格，也可以流通吹扫气体。

模型	（C：C规格）（L：L规格）		LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
			碳	左	碳	左	碳	左	碳	左
*抽速		立方米/^小时	120		380		600		1000
极限压力		爸爸	≦0.6		<=0.1
电源电压			200V级：三相，50/60Hz，AC200-240V或400V级：三相，50/60Hz，AC380-480V
功耗值*1		千瓦	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷却水量		升/分钟	> 2.0		> 4.0
驳船气量*2		空间光调制器	-	0–50	-	0–50	-	0–50	-	0–50
地处理水蒸气 3		公斤/小时	-	1.5	-	1.5	-	1.5	-	1.5
噪音水平		分贝(A)	61		61		62		64
进气口			KF（卧式）/ VG50（立式）		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排气口			KF40
大量的		公斤							6
合规标准			CE、cTUVus
标准配件			使用说明书（CD-R）、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器保护罩
主机选项			电压规格：200V或400V，密封材质：全氟橡胶（仅限L型）
外部选项			MBP进气转换法兰、壳体排气口、抗震固定支架、LR兼容单元（进气、信号）、吹扫气阀

*1 在极限压力下
*2 驳船气体不能与 C 型一起使用。
*3 使用驳船气体时的*水蒸气处理能力。
*4 C 型不兼容无泄漏。