（*1）对于 LS120A-C
（*2）对于 C 规格
（*3）对于 L 规格，也可以流通吹扫气体。
| 模型 |
（C：C规格） |
LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| 碳 | 左 | 碳 | 左 | 碳 | 左 | 碳 | 左 | |||
| *抽速 | 立方米/小时 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 极限压力 | 爸爸 | ≦0.6 | <=0.1 | |||||||
| 电源电压 | 200V级：三相，50/60Hz，AC200-240V或400V级：三相，50/60Hz，AC380-480V | |||||||||
| 功耗值*1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷却水量 | 升/分钟 | > 2.0 | > 4.0 | |||||||
| 驳船气量*2 | 空间光调制器 | - | 0–50 | - | 0–50 | - | 0–50 | - | 0–50 | |
| *地处理水蒸气 *3 | 公斤/小时 | - | 1.5 | - | 1.5 | - | 1.5 | - | 1.5 | |
| 噪音水平 | 分贝(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 进气口 | KF（卧式）/ VG50（立式） | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 排气口 | KF40 | |||||||||
| 大量的 | 公斤 | 6 | ||||||||
| 合规标准 | CE、cTUVus | |||||||||
| 标准配件 | 使用说明书（CD-R）、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器保护罩 | |||||||||
| 主机选项 | 电压规格：200V或400V，密封材质：全氟橡胶（仅限L型） | |||||||||
| 外部选项 | MBP进气转换法兰、壳体排气口、抗震固定支架、LR兼容单元（进气、信号）、吹扫气阀 | |||||||||
*1 在极限压力下
*2 驳船气体不能与 C 型一起使用。
*3 使用驳船气体时的*水蒸气处理能力。
*4 C 型不兼容无泄漏。
