ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 GR60A

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 GR60A

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 GR60A

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 *常见的泵是罗茨干式真空泵。

干式真空泵“Model：GR”是在久经考验的“Model：LR・HR”的基础上，为一般工业设计的结构简单的泵。

长处

可用于高负载应用，例如大气~真空的重复抽真空和高压区域的连续运行

非常适合需要高通量的载重锁室（制备室和取出室）的排气

与通用感应电机兼容

可安装防爆电机等特殊电机（可选）

使用多电压电机

用

真空排气清洁气体，如空气和惰性气体

各种沉积设备的制备室和取出室的排气

一般工业应用，如真空干燥、真空气体置换和真空消泡

真空气体置换，例如真空绝热和充气

ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。