ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 SH200-R
ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 SH200-R
这是传感器式真空计“型号：G-TRAN”多离子真空计的*号，可以连接不同测量范围的测量元件。 该产品是 B-A 型电离真空计，能够测量高真空。 延续了传统压力测量和低运行成本的理念，它已被改进为更加用户友好。
| 型 | SH200-A 型 | SH200-R 系列 | SH200-E（即将发布） | |
| 规范 | 标准规格 | 串行通信规格 | EtherCAT 规范 | |
| 自适应多离子计传感器 | M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070） | |||
| 可连接的传感器 |
多离子真空计传感器：1 皮拉尼真空计 SWU10-R：1（可选） 大气 压力传感器 SAU：1（可选） |
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| 重复性 （N2） | SH200 独立模式：±2% | |||
| 采样时间 | 60ms 5 移动平均线处理 | |||
| 测量值输出 |
输出电压 DC 0~10V LOG 输出 0.75V/个位数 压力转换公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2} |
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| 更新时间 | 60 毫秒 | |||
| 控制输入信号 |
使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集电极开路输入、负逻辑 * FIL ON/OFF 信号根据模式的不同而使用不同 |
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| 控制输出信号 |
传感器错误，设定点 1/2/3，发射有效，灯丝 功率监控 额定值：24V MAX，50mA MAX，1V 饱和电压 |
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| 串行通信规格 | - | RS232C/RS-485 接口 | EtherCAT 技术 | |
| LED 指示 | POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） | |||
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SET1：设定点 1 LED SET2：设定点 2 LED SET3：设定点 3 LED |
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| 发射电流 | 1mA（1×10-3Pa 或更低）、10 μA （1×10-3PA 或更高） | |||
| DEGAS | 电子轰击 1 mA，330 V | |||
| 传感器耐压 | 2×10+5Pa （*压力） * 法兰和卡箍等耐压性必须单独考虑。 | |||
| 传感器内部容积 | 17 厘米3（M-44），19 厘米3（M-45），17 厘米3（M-46） | |||
| 工作温度范围 | 10~50°C | |||
| 工作湿度范围 | 15~80% （无结露） | |||
| 储存温度 | -20~65°C（断电时，无冷凝） | |||
| IP 防护等级 | IP30 防护等级 | |||
| 电源电压 | DC20~28V（纹波、噪声 1% 以下）、8W 以下 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15 针（M2.6 螺丝） | |||
| 质量 | 控制器：约 280g 测量元件（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器） | |||
| 法规遵从性 | CE | |||
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Op-syeong （奥普祥） |
多离子计传感器 |
M-44 （NW16）、M-45 （NW25）、M-46 （ICF070） 材质 ：细丝 1,2 -Ir/Y2O3 涂层 其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐合金玻璃、可伐合金/镍镀层 |
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| 皮拉尼真空计 | SWU10-R *兼容传统 SPU | |||
| 皮拉尼仪表传感器 |
SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）材质 ： 细丝-Pt， 其他-BS/Ni， 电镀， Ni， 焊锡 |
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| 气压传感器 | SAU（NW16） 材质：SUS316L | |||
| 单元电缆 |
GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2mGUC-200A （用于 SAU）：0.5m、1m、2m |
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| 显示单位 | 1CH：ISG1（使用 24V DC 电源） | |||
| 显示单元电缆 |
SH200 ~ 显示单元电缆 2m， 5m， 10m， 15m， 20m， 25m， 30m， 35m， 40m |
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| 连接器 | 输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm 螺丝）） | |||
| 其他 | 检验报告、通用校准检验报告、JCSS 校准证书 | |||
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长处
可连接不同测量范围的传感器：多离子计允许根据应用选择测量元件
紧凑性：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），是世界上*小的级别
可用性改进：可以通过 PC/智能手机连接设置设定点、状态检查等。
产品阵容充实：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）
灯丝寿命通知功能：灯丝电量监控可提前通知灯丝寿命
压力测量范围广：从大气压到高真空 （1×10）+5~5×10-8Pa）（连接了可选单元 SWU10-R 时）
的大气压力测量：可以检查腔室打开时的大气压力（当连接到可选单元 SAU 时）
用
用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空范围内的过程控制
用于检查具有许多工艺腔室的各种制造设备（如在线和单晶片类型）在高真空范围内的极限压力
用于高真空和高真空设备的压力测量
ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。