EBARA荏原干式真空泵EV-S20(P/N)由深圳市京都玉崎电子有限公司供应，并提供报价图片，欢迎咨询！
EV-S型 干式真空泵
EV-S 型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、 SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附 加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。
特点
在“低能耗、占地小、轻量化”方面达到业内*水平;耐腐蚀材料、氮气吹扫功能(可选);在不同频率(50/60Hz)下性能一致;通过增强的传感功能减少停机时间.
EBARA 荏原干式真空泵是荏原公司推出的一系列无油真空泵产品，具有清洁、节能、紧凑等特点，广泛应用于半导体、光伏等领域。以下是其主要介绍：
产品特点
无油清洁：采用非接触式密封技术，无需使用油或液体进行密封，能实现清洁真空，避免油和水的回流或扩散，适用于对真空环境要求较高的场合。
节能高效：的优化转子设计，提高了压缩效率，降低了功耗。部分型号还具备怠速模式，可进一步节省能源。
小巧轻便：具有小型轻量化的设计特点，占用空间小，便于安装在有限的空间内，且一些型号易于搬运，适合需要多次移动的应用场景。
低噪音振动：运行时噪音和振动水平较低，能为用户提供较为安静的工作环境，同时也有助于设备的稳定运行和延长使用寿命。
智能控制：具备*的控制管理功能，如数据保存、警报履历备份等，部分型号还可通过可编程的 LCD 控制器进行手动预警设置，方便用户监控和管理设备。
