TG350F
任何方向
紧凑尺寸
节能
快速启动
用燃气排气快速关闭
用于冲击气流的坚固结构
串行通信
（RS232C 串行接口）
安全标准NRTL / SEMI-S2 / CE
应用
半导体生产
电子枪排气，电离源排气
FPD制造
表面处理，表面改性
各种电子元件的制造
分析与测试设备
灯具生产，光学元件生产
加速装置、辐射设施、核聚变研究
热处理
研究与开发
*如果排放腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M系列或TG系列。
| 进气法兰 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
| 流量 | VG/ISO-R·CF N2（L/s） | 350/330 |
| VG/ISO-R·CF N2 （带防护屏障） （L/s） | 330/310 | |
| VG/ISO-R·CF H2（L/s） | 210/210 | |
| *压缩 比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 基压 | （帕/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| *吞吐量※1 | （SCCM） | 500 |
| 启动时间 | （分钟） | 2-2.5 |
| 停工时间 | （分钟） | 5-6.5 |
| *背 压 | （帕/托尔） | 260/2 |
的倒吸 真空泵 | （L/min） | ≧80 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG・ISO-R/CF（kg） | 6/9 |
| 控制器 | TC353 | |
*1：使用160升/分钟的后备真空泵时。
[环境温度使用]
确保达到*压力的环境温度范围是10-23°C。允许的环境温度为风冷类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。冷却水的*温度（保证*终压力）为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。
[对应气体]
一些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。
