ULVAC
VS1501/VS2401 是旋片式(单级)的油旋转真空泵。水冷和强制给油的方式使得在高负荷下的排气性能也得以稳定。
此外还采用了大型油位计并在设计之初考虑了维保的便捷性。

VS1501

VS2401
水冷和强制给油 使用油压油防吸系统 维保便捷性特点
在高负荷运转下也能满足缸体的供油,排气性能比压差给油更稳定。
泵停转时,可以防止油从油箱倒吸至吸气端。
除使用了可时刻监测油状态的大型油位计外,还设计了油箱清洗、更换排气阀等时的便捷盖。
光学膜蒸镀设备 反射器蒸镀设备 装饰用蒸镀设备 薄膜卷绕蒸镀设备 内嵌溅射设备 烘烤炉 /热处理炉 冻干设备 检漏设备用途
VS1501/VS2401 VS1501/VS2401规格
型号 VS1501 VS2401 设计排气速度 50Hz m3 / hr (L/min) 000) 60Hz 800) 极限压力 GP关 Pa ≦ 5.3 GP开 ≦ 80 功耗(极限压力时) 50Hz kW 2.3 2.8 60Hz 2.9 3.6 电机 型号 全封闭风冷 三相感应电机 容量 kW (Poles) 5.5(4) 7.5(4) 电压 50Hz V 200~240 / 380~415 60Hz 200~240 / 380~460 噪音值*1(极限压力时) 50Hz dB 67 73 60Hz 67 73 使用油 ULVOIL R-72/SMR-200 所需油量 L 8~10.5 冷却方式 水冷 冷却水 初压 MPaG ≦0.5 出入口压差 ≧0.1 冷却水量 L/min ≧4.0 ≧5.0 冷却水温度 ℃ 5~30 冷却水Δt ≦10 吸气口法兰 JIS VG80 排气口法兰 JIS VF50 重量 kg 232 271 外观尺寸 W×D×H mm 300×941×460 333×1061×460 海外安全标准 ー
注意:本资料采用SI测量单位。
※1 平均声压级根据ISO2151进行测量・计算。排气速度曲线
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尺寸图
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