ULVAC
VS300A-W是旋片式（单级）的油旋转真空泵。在同类产品中占地面积*小，可直接搭载机械增压泵。另外，内置了油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。
同类产品中占地面积*小 可直连机械增压泵（MBP） 内置油雾过滤器 不易向外部漏油的构造特点
□874×404mm 设计紧凑。
使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。
回油装置亦内置。
油封和轴封两级密封，防止向外部漏油。
光学膜蒸镀设备 反射器蒸镀设备 装饰用蒸镀设备 薄膜卷绕蒸镀设备 内嵌溅射设备 烘烤炉 /热处理炉 冻干设备 检漏设备用途
注意：本资料采用SI测量单位。 VS300A-W VS300A-W＋PMB1200D规格
型号 VS300A-W 设计排气速度 50Hz m3 / hr
( L/min )250 (4,166) 60Hz 300 (5,000) 极限压力*１ GP关 Pa ≦15 GP开 ≦200 功耗(极限压力时） 50Hz kW 2.8 60Hz 3.1 电机 型号 全封闭风冷 三相感应电机 容量 kW (Poles） 7.5（４） 电压 50Hz V 200～240 / 380～415 60Hz 200～240 / 380～460 噪音值*２（极限压力时） 50Hz dB 70 60Hz 74 使用油 ULVOIL R-72／SMR-200 所需油量 L 10～15 冷却方式 水冷 冷却水 初压 MPaG ≦0.3 出入口压差 ≧0.1 冷却水量 L/min ≧3.0 冷却水温度 ℃ 5～30 冷却水Δｔ ≦25 吸气口法兰 DN 63 ISO-F 排气口法兰 G2 重量 kg 270 外观尺寸 W×D×H mm 404×871×585 海外安全标准 CE、 cTUVus
*1 到达极限压力（GP关）后会进行慢泄。关闭慢泄阀，真空度≦8Pa。
*2 平均声压级根据ISO2151进行测量・计算。排气速度曲线
