使用上下线阵三角激光测头在快速抖动板或膜测厚时的问题：
线阵测头的输出值是一段时间的测量结果的平均值。在动态测厚过程中，激光焦点在被测物表面扫描，由于激光散斑的原因，表面反射光强存在剧烈的起伏，导致一些采样点的信号强度过低，成为无效数据而剔除，若单测头每次平均需m个数据，之间会剔除n个数据，则需要增加测n个数据，数据量为m+n个，这可形象地用下图表示。
由于上下表面的数据是独立的，因此，上下表面数据序列中被剔除的数据也是独立的（见上图中的一个箭头表示一个剔除数据）。如果物体不动或高度不变，则剔除数据的位置没有什么影响，但当物体抖动量较大时，被剔除数据的位置对平均值的影响将立刻显现出来，例如当表面上升时（下图）
剔除数据的位置靠前则m个数据的平均值偏大，反之则偏小。
由于上下两个测头内部对剔除数据的操作是独立的，无法进行协调，因此，物体抖动必然导致厚度测量结果的较大起伏！这种误差的统计估计如下：
由上图可知，两个测头的数据错位范围为（-n，+n），处于各种错位情形的概率均等，则由概率论知，均方差为个数据，若物体移动速度为V，单次采样时间为T，则造成的上下两测头的厚度测量的概率误差为
例如，若v=10mm/s T=10ms n=2 则e=0.115mm！若上下测头组合仪取p个数平均，则厚度误差均方差下降为
，若p=20，则e=0.026mm！对于高精度测量仍然是无法容忍的！
由于激光散斑是无法消除的，因此，被测物速度越大，误差越大，因此原理上，上下独立测头不适宜抖动物体的测厚！
而我们的单镜头面阵ccd测厚仪，由于是上下光斑同时测量，若出现上下任一光斑太暗，则该组上下光斑数据作废，保证了用于厚度数据的上下光斑的一一对应性！从原理上避免了以上误差。
