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<0.005mm
外形尺寸
600×620×900 mm(W×D×H)
线性精度
4+L/150um
台面大小
400×280MM
CCD
1/3寸SONY芯片35万画素
台面荷重
30kg
镜头
0.5X目镜0.7-4.5 ZOOM
放大倍数
20X至120X
X、Y、Z行程
200×100×100
机台重量
100kg
解析力
标准0.001mm
电源
220V AC50/60HZ