特征
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可测量高达 1018Ω 的电阻
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10aA(10×10-18A)电流测量分辨率
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小于 3fA 的输入偏置电流
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6 1/2位高精度测量模式
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在*低电流范围内低于 20μV 的负载电压
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电压测量高达 200V,输入阻抗 >200TO
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内置+/-1000V电压源
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用于高电阻测量的交流极性电压源和测量方法
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用于四种不同器件特性测试、表面和体积电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描的内置测试序列
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可选的插入式扫描仪卡,通过一个测试设置测试多达 10 个设备或材料样品
Keithley 6517B 静电计/高电阻计是用于灵敏测量的全球研究实验室标准。凭借 60 多年的低电平测量*知识,Keithley 静电计可提供低至 1fC 的低至 10aA (10×10-18A) 电荷水平的可靠测量,以及高达 1018Ω 的*电阻测量。6517B 还能够测量*电压范围——高达 200V——输入阻抗过 200TO。
特征
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可测量高达 1018Ω 的电阻
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10aA(10×10-18A)电流测量分辨率
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小于 3fA 的输入偏置电流
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6 1/2位高精度测量模式
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在*低电流范围内低于 20μV 的负载电压
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电压测量高达 200V,输入阻抗 >200TO
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内置+/-1000V电压源
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用于高电阻测量的交流极性电压源和测量方法
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用于四种不同器件特性测试、表面和体积电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描的内置测试序列
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可选的插入式扫描仪卡,通过一个测试设置测试多达 10 个设备或材料样品
Keithley 6517B 静电计/高电阻计是用于灵敏测量的全球研究实验室标准。凭借 60 多年的低电平测量*知识,Keithley 静电计可提供低至 1fC 的低至 10aA (10×10-18A) 电荷水平的可靠测量,以及高达 1018Ω 的*电阻测量。6517B 还能够测量*电压范围——高达 200V——输入阻抗过 200TO。
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