ONTO-光刻系统-JetStep G45

产品名称：ONTO-光刻系统-JetStep G45

产品型号：JetStep G45

产品介绍：JetStep G45 系统可满足移动显示行业的苛刻要求。该系统基于成熟的步进技术，将优化的性能与良好的拥有成本相结合。JetStep G45 系统在 >200mm 的视场直径范围内具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光学结合高速运动使系统能够实现<0.5μm的覆盖。JetStep G45 系统放大光学器件允许使用 6 英寸标线片（掩模），与竞争技术相比，显着降低了加工成本。此外，该系统占地面积小，可大限度地降低设施成本，其无摩擦运动可减少磨损，从而降低维护成本。综合节省导致成本低廉的制造过程，降低了资本支出和拥有成本 (COO)。 

性能特点：

自动放大控制增加了工艺窗口

板载标线管理系统提供大利用率

用于现场校准的机载计量包

在每个曝光位置进行动态自动对焦，以自动调整面板拓扑上的焦点

提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断

参数：

分辨率达 1.5µm 的高保真投影镜头和照明系统

行业标准的 6 英寸光罩格式，用于经济的制造

上海连航机电科技有限公司专注于为工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势，进而提升了终端服务效率与水平。

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