IST微流量传感器MFS

产品名称：IST微流量传感器MFS

产品型号：MFS02

产品介绍

IST AG MicroFlowSens (MFS) 技术专为快速流量测量而开发。由于膜系统，热质量减少到低限度，从而导致非常快的响应时间和低功耗。除了测量流量外，MicroFlowSens 还提供灵敏度并能够检测流向。MFS 流量传感器是有限空间系统集成更合适的选择，可用作 PCB 上的集成传感器。

性能特点:

 热式质量流量传感器

 适合气体流量和方向的快速测量

 在 CTA 模式下具有高流速和快速响应时间的应用的解决方案

 使用 CTA 模式 (10'000'000 : 1) 无旁路时具有非常高的测量动态

 非常适合测量非常低的流量和使用桥接模式进行泄漏检测

 对腐蚀性气体和蒸汽具有高耐化学性

 提供不同的灵敏度和电路拓扑

 流向检测

 可根据要求提供客户特定的传感器布局

参数:

测量介质：气体流量

流动方向：两个方向（kalorimetric）

工作温度范围：-20°C至+80°C

芯片尺寸：5.0 x 3.4 x 0.5 mm

连接类型：焊盘

流量范围全桥模式：分别为0 m/s至1.5 m/s。0毫升/分钟至100毫升/分钟

流量范围CTA模式：分别为0 m/s至150 m/s。0升/分钟至10升/分钟

响应时间t63:<10ms

响应灵敏度：0.0003 m/s（20µL/min）

基板：玻璃

产地：瑞士

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