金刚石内部缺陷空洞率检测 YTS110

  通用型——经过了6代迭代优化，设计成熟，满足半导体、集成电路、IGBT模组、低压电器、金刚石刀具等多个行业的普遍应用需求。

工作环境要求

2.1环境温度要求：20～35℃

2.2环境相对湿度：35℃≤50％RH

2.3工作电源：220V/50Hz，3KW

2.4水源：自来水，或去离子水，水温要求：15～30℃

技术指标

3.1 系统特性

扫查范围：350mm×200mm×110mm；

图像分辨率：200um、400um；

扫查速度：小于5min（测试条件：扫描区域65mm×65mm，分辨率200um）；

厚度检测范围

金刚石材料：                                        硬质合金材料：

0.3 ~ 3mm（50MHz探头）；              0.8 ~ 6mm（50MHz探头）；

重复定位精度：±0.01mm@400mm

3.2 软件功能

操作工模式：自动批量扫描、自动生成报告、手动分析、数据调用、一键校准；

工艺工程师模式：手动扫描、A/C扫描，数据读/写，强度测量、厚度测量，处方配置，探头管理等；

3.3 测量系统性能

3.3.1 厚度测量误差

超声检测和影像仪检测对比

等距取10个以上检测点，90%点的误差在±0.05mm内。

超声检测重复测量

取10个检测点，重复测量3次，90%点的误差在±0.05mm内

3.3.2 厚度测量范围  

金刚石层0.3mm以上，厚度1mm以上。

3.3.3 缺陷识别能力

在测量系统厚度能力范围内，被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下，且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的结合缺陷的识别能力为0.15毫米（50兆探头）。

标准材料声速表

产品参数

1、工作电源：220V/50Hz，2KW；
2、*扫描范围：350mm×200mm×110mm；
3、整机尺寸：1350mm×950mm×1300mm；
4、探头频率范围：1~50MHz；（标配，可升级至230MHz）；
5、图像分辨率：0.5um ~ 4000um；
6、典型扫描耗时：<70s （测试条件：扫描区域10mmX10mm，分辨率50um)；
7、*扫描速度: 300mm/s；*扫描加速度：0.8m/s²；
8、运动台定位精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重复定位精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm；
9、每通道可调增益：-13~66dB;（标配，可升级）；脉冲重复频率：5kHz；（标配，可升级）。