将 Be~U 中的所有元素(包括 B、C、N 和 O)包含在一个单元中,这些元素是重要的半导体材料
WDX 具有高信噪比和高分辨率,使用可实现比能量色散 X 射线荧光 (EDX) 仪器更准确的分析。 高功率 X 射线管和于轻元素的光谱晶体可实现轻元素测量,例如 B、C、N 和 O,这是 EDX 无法实现的。 此外,由于 Si 的影响,难以用 EDX 分析的 Al 薄膜可以通过高分辨率的 WDX 清晰分离。
询价询问有关产品的问题line" target="_blank" >目录结
长处
规范
事件
AZX 400 规格
产品名称 阿兹 400 技术 扫描波长色散 X 射线荧光光谱法 (WDXRF) 用 分析所有样品的薄膜厚度和成分,例如 φ50 mm 至 φ300 mm 的晶圆、芯片、切割的晶圆等。 科技 将 Be~U 中的所有元素(包括 B、C、N 和 O)包含在一个单元中,这些元素是重要的半导体材料 主要组件 4 kW 封装 X 射线管、扫描测角仪、初级 X 射线滤光片、φ 30、20、10、1、0.5 mm 视场限制装置 选择 晶圆加载器、SQX 软件、CCD 相机 控制 (OC) 外部 PC、MS Windows®作系统、同步涂层厚度成分分析标准软件 本体尺寸 1376 (W) x 1710 (H) x 890 (D) 毫米 重量 约 800 kg(主机) 权力 三相 200 VAC 50/60 Hz,50A
