TG390M型日本大坂真空OSAKA VACUUM磁悬浮型涡轮分子泵用于半导体生产北崎热卖

磁悬浮型TG-M系列

使用磁悬浮轴承可实现完全无油排气、任何定向安装以及更长的维护周期。产品阵容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型号。

磁悬浮式涡轮分子泵的截面

ターボ分子ポンプ断面図（磁気軸受タイプ）

TG390M型

■任何方向

■紧凑的尺寸

■节能

■快速启动和停止

■维修

■无振动

■型号无联轴器

■自动校准

■高吞吐量

■转速控制

■串行通信

■NRTL SEMI-S2 CE安全标准

应用

■ 半导体生产

■ 电子枪排气、电离源排气

■ FPD制造

■ 表面处理、表面改性

■ 各种电子元件的制造

■ 分析、检测设备

■ 灯具生产、光学元件生产

■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究
■ 热处理

■ 研究与开发

Inlet flange		VG100
		CF100
		ISO-B100
Volume flow rate	N2 (L/s)	340
	N(with protective screen) (L/s)	320
	H2 (L/s)	290
Max. compression ratio	N2	1×108
Max. compression ratio	H2	4.5×103
Base pressure	VG・ISO-B/CF (Pa)	<1×10<1×10
Base pressure	VG・ISO-B/CF (Torr)	<7.5×10<7.5×10
Max. throughput※1	N2 (sccm)	2000
Startup time	(min)	2~3
Shutdown time	(min)	4~5
Max. backing pressure	(Pa / Torr)	400 / 3
Recommended backing vacuum pump	(L/min)	≧160
Position		Any orientation
Weight (kg) VG･ISO-B/CF		14 / 17
Controller		TC010MA
Special specifications *Contact our sales representative for more information.		-Chemical-use -Thermal insulation TG-MI -Ultra low vibration TG-ML

*1 ：使用320L/min的前级真空泵时。

[使用环境温度]

确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C，水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水*温度为30°C，冷却水允许温度范围为10-35°C。

[对应气体]

某些类型的要排出的气体可能会损坏泵。
请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。

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