日本大坂真空OSAKA VACUUM半导体用涡轮分子泵北崎热卖

带集成控制单元的磁悬浮型 TGkine-B系列®

集成控制器/电源。无需互连电缆/电缆管道，也无需机架安装。对系统设计造成的压力较小。延续了我们的 TG-M 系列传统。优化的复合转子设计提供*的性能。

带集成控制单元的磁悬浮式涡轮分子泵的横截面

TGkine1700M-B / 2200M-B

- 集成控制器和电源

-节能

-紧凑的

- IP54 标准

- 多种接口选项

- 符合国际标准：

CE / NRTL / 半 S2

应用

• 太阳能电池制造

• 玻璃、光学镀膜

• 薄膜涂层

• 表面处理、表面改性

• 液晶显示器制造

• 半导体制造

• 加速器、空间模拟器

• 规格

• 尺寸

• 性能曲线

半导体/电子元件

半导体器件是通过在晶圆上重复薄膜沉积、光刻胶曝光、蚀刻和离子植入等过程制造的。其中许多过程都是在真空环境中执行的，并检查其结果。干式真空泵用于中低真空工艺，涡轮分子泵和低温泵用于高真空工艺。

对于蚀刻，真空泵必须对所用气体具有耐腐蚀性、防止副产品沉积的温度控制、对大量工艺气体的高吞吐量性能以及对产生热量的冷却能力。安装灵活性也很重要。

我们TGkine MI-B系列®,TGkine MI-R 系列®TG-MI系列涡轮分子泵具有高抽速、耐腐蚀、温控能力强、高吞吐量性能、制冷量、安装灵活性等特点。

我们的TG-ML系列低振动磁悬浮涡轮分子泵用于光刻或CD-SEM和TEM设备，用于测量纳米制造结构。它们干净，具有*的低振动性能。