TXRF 3760日本理学RIGAKU对晶圆表面的污染进行无损非接触式和高度灵敏的分析光谱仪_仪器仪表交易网

TXRF 3760日本理学RIGAKU对晶圆表面的污染进行无损非接触式和高度灵敏的分析光谱仪

来源:北崎国际贸易(北京)有限公司
发布时间:2025-04-23 09:24:44

TXRF 3760 系列

全内反射 X 射线荧光光谱仪

对晶圆表面的污染进行无损、非接触式和高度灵敏的分析

转子式高功率 X 射线发生器和新设计的入射 X 射线单色器

过渡金属 LLD 10 采用直接 TXRF 测量方法8 原子/厘米2达到水平。 在封闭 X 射线管测量时间的 1/3 内即可实现相同的精度,从而实现高通量。

询价询问有关产品的问题TXRF 3760 表面污染计量系统

TXRF 3760 规格

产品名称TXRF 3760 系列
技术全内反射 X 射线荧光 (TXRF)
从 Na 到 You 的元素分析以测量晶圆污染
科技带无液氮检测器的 3 光束 TXRF 系统
主要组件适用于* 200 mm 晶圆的 XYθ 样品台系统、真空晶圆中的机器人传输系统、ECS/GEM 通信软件
选择Sweep TXRF 软件(能够映射晶圆表面的污染物分布以识别“热点”)。 ZEE-TXRF 功能,可实现零边排除测量)
控制 (PC)内部 PC、MS Windows®作系统
本体尺寸1000 (宽) x 1760 (高) x 948 (深) 毫米
质量100 kg(主机)
权力三相 200 VAC 50/60 Hz,100 A

北崎9年,日本会社20年

优势:

1、以下三大类前6项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。

光源类:

1、EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2、SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3、CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4、REVOX莱宝克斯——光源箱

5、SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6、POLARION普拉瑞——强光灯

7、FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8、USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9、ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10、YAMADA依梦达——光源 (备库销售)

                      

仪器仪表类:

1、SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪  

2、TOKI东机产业——粘度计

3、SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4、SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5、DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6、SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

7、IIJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8、TORAY东丽——气体分析仪

9、HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11、KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12、USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13、ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14、AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15、YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16、RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17、EXCEL——听音机 (备库销售)


小设备类:

1、SIBATA柴田——环境净化设备、大流量采样器、微型泵 (部份备库销售)

2、YAMATO雅马拓——恒温箱、干燥箱、气氛炉

3、NEWKON新光——打孔机、钢印机

4、MUSASHI武藏——点胶机

5、KAIJO凯捷——清洗机

6、TSUBOSAKA壶坂——对比度仪

7、EYELA东京理化---旋转蒸发仪

8、NIDEC尼得科——减速机

9、AKiribis雅科贝斯——加工平台、高速直驱电机

10、OTSUKAEL大塚——光学膜厚仪、粒度仪


专注领域如下:

仪器相关:

山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)


备件设备相关:

柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN


光源相关:

岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE


电气控制:

SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)


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