YM-RL系列罗茨泵机组

组成


1. YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。



用途


2. 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。



优点


3. •  无油、干燥、清洁。




4. •  在低温领域的均热化。




5. •  大抽速，可以缩短排气时间。




6. •  优良的耐腐蚀性。




7. •  低噪音、低震动。



• 技术参数
• 抽气速率曲线

* 1  用皮拉尼真空计测定的值。

* 2  不作为系列。

* 3  冷却水不得有结露。

* 4  用调节阀所调整的压力表的值。

* 5  氮气（密封气体）流量5L/min是固定值。

YM-VD / VS系列罗茨泵机组

组成


1. YM-VD / VS系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。



用途


2. •  蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等。




3. •  单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。




4. •  真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。




5. •  冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。



• 技术参数
• 抽气速率曲线

* 1  用皮拉尼真空计测定值。
* 2  标准电机为50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V或50Hz-200V、60Hz-200V/220V。
* 3  VDN301泵在50Hz使用时的电机为1.1kW;而60Hz使用场合，电机应配1.5kW。
* 4  各种泵油的性能是不同的，因此，为避免影响泵的性能，请使用本公司的真空泵油。
* 5  NB300B的吸入口在530Pa以上进行连续运行时，必须用水冷却（2L/min)。