TSAXS 是一种用于 CD 测量的在线小角 X 射线散射方法。
* 300 mm 晶圆
*的设备微形状(浅/深图案)测量设备
可以对纳米结构进行无损测量,例如横截面轮廓、深度、形状和斜率。 获取反映横截面形状的 X 射线衍射图像。
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规范
事件
XTRAIA CD-3200T 规格
技术 小角 X 射线散射 - 透射模式 (TSAXS) 用 高深宽比 (HAR) 结构的关键尺寸测量 X 射线源 旋转与阴极 (Mo Ka, 17.4 keV) X 射线光学元件 多层反射镜光学元件 X 射线探测器 HyPix 6000HE (二维) 主要组件 图案化晶圆测量
:周期性微观 3D 形状
、深孔/柱结构
、DRAM、3D-NAND、3D LSI 结构特征 图形识别和全晶圆映射 选择 GEM300 软件,支持 E84/OHT 本体尺寸 4020(宽) × 2500(深) × 3450(高) 毫米 测量目标 节距、CD、高度、侧壁厚度、SWA(侧壁角度)、RT(圆顶)、RB(圆底)、CD 分布、节距分布、高度分布
北崎9年,日本会社20年
优势:
1、以下三大类前6项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;
2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。
光源类:
1、EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)
2、SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)
3、CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱 (部份光源可提供试样)
4、REVOX莱宝克斯——光源箱
5、SERIC索莱克——人工太阳照明灯
6、POLARION普拉瑞——强光灯
7、FUNATECH船越龙——目视检查灯 (备库销售)
8、USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡
9、ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯
10、YAMADA依梦达——光源 (备库销售)
仪器仪表类:
1、SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪
2、TOKI东机产业——粘度计
3、SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)
4、SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对
5、DIT东日技研——静电消除器、离子风棒
6、SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)
7、IIJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计
8、TORAY东丽——气体分析仪
9、HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器
10、TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计 (备库销售)
11、KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器 (部份备库销售)
12、USHIO牛尾——照度计 (备库销售)
13、ORC欧阿希——照度计 (备库销售)
14、AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)
15、YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)
16、RKC——热电偶、温控器 (备库销售)
17、EXCEL——听音机 (备库销售)
小设备类:
1、SIBATA柴田——环境净化设备、大流量采样器、微型泵 (部份备库销售)
2、YAMATO雅马拓——恒温箱、干燥箱、气氛炉
3、NEWKON新光——打孔机、钢印机
4、MUSASHI武藏——点胶机
5、KAIJO凯捷——清洗机
6、TSUBOSAKA壶坂——对比度仪
7、EYELA东京理化---旋转蒸发仪
8、NIDEC尼得科——减速机
9、AKiribis雅科贝斯——加工平台、高速直驱电机
10、OTSUKAEL大塚——光学膜厚仪、粒度仪
专注领域如下:
仪器相关:
山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)
备件设备相关:
柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关:
岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制:
SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)
