XTRAIA CD-3010G日本理学RIGAKUT测量薄膜厚度密度和粗糙度_仪器仪表交易网

XTRAIA CD-3010G日本理学RIGAKUT测量薄膜厚度密度和粗糙度

来源:北崎国际贸易(北京)有限公司
发布时间:2025-04-23 09:53:36

XTRAIA CD-3010G

斜入射 X 射线 CD 测量工具

可以使用 GISAXS 和 X 射线反射 (XRR) 测量来测量 CD,以测量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容* 300 毫米的晶圆

询价询问有关产品的问题XTRAIA CD-3000G

XTRAIA CD-3010G 规格

技术倾斜小角 X 射线散射测量 (GISAXS), X 射线
反射测量 (XRR)
浅层重复结构的临界尺寸测量
X 射线源包合管,Cu Ka (8.04 KeV)
X 射线光学元件多层反射镜光学元件
X 射线探测器二维探测器
主要组件图案化晶圆测量周期性
精细3D形状线
和空间,点或孔结构
,浅孔/列,抗蚀剂,掩模图案,存储设备单元区域,FinFETs/GAAs
特征图形识别和全晶圆映射
选择GEM300 软件,支持 E84/OHT
本体尺寸1865(宽)× 3700(深)× 2115(高)毫米,2965 公斤(包括装载口)
测量目标GISAXS:间距、CD、高度、SWA(侧壁角度)、RT(顶部圆角)、RB(底部圆角)、线宽分布、间距分布、高度分布
XRR:薄膜厚度、密度和粗糙度

北崎9年,日本会社20年

优势:

1、以下三大类前6项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。

光源类:

1、EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2、SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3、CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4、REVOX莱宝克斯——光源箱

5、SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6、POLARION普拉瑞——强光灯

7、FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8、USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9、ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10、YAMADA依梦达——光源 (备库销售)

                      

仪器仪表类:

1、SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪  

2、TOKI东机产业——粘度计

3、SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4、SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5、DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6、SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

7、IIJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8、TORAY东丽——气体分析仪

9、HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11、KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12、USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13、ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14、AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15、YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16、RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17、EXCEL——听音机 (备库销售)


小设备类:

1、SIBATA柴田——环境净化设备、大流量采样器、微型泵 (部份备库销售)

2、YAMATO雅马拓——恒温箱、干燥箱、气氛炉

3、NEWKON新光——打孔机、钢印机

4、MUSASHI武藏——点胶机

5、KAIJO凯捷——清洗机

6、TSUBOSAKA壶坂——对比度仪

7、EYELA东京理化---旋转蒸发仪

8、NIDEC尼得科——减速机

9、AKiribis雅科贝斯——加工平台、高速直驱电机

10、OTSUKAEL大塚——光学膜厚仪、粒度仪


专注领域如下:

仪器相关:

山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)


备件设备相关:

柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN


光源相关:

岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE


电气控制:

SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)


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