日本大阪真空OSAKA涡轮分子泵TG350F用于分析与测试设备北崎热卖

TG350F

• 任何方向

• 紧凑尺寸

• 节能

• 快速启动

• 用燃气排气快速关闭

• 用于冲击气流的坚固结构

• 串行通信
  （RS232C 串行接口）

• 安全标准NRTL / SEMI-S2 / CE

• 
  

应用

• 半导体生产

• 电子枪排气，电离源排气

• FPD制造

• 表面处理，表面改性

• 各种电子元件的制造

• 分析与测试设备

• 灯具生产，光学元件生产

• 加速装置、辐射设施、核聚变研究

• 热处理

• 研究与开发

*如果排放腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M系列或TG系列。

• 规格

*1：使用160升/分钟的后备真空泵时。

[环境温度使用]

确保达到*压力的环境温度范围是10-23°C。允许的环境温度为风冷类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。冷却水的*温度（保证*终压力）为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。

[对应气体]

一些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。