XTRAIA XD-3200

在线 HRXRD/XRR 测量工具

用于毛毯和图案化晶圆的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3200 是一款多用途 X 射线计量工具，可在大批量生产中对橡皮布和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析，吞吐量高。

测量结果包括 X 射线反射 （XRR） 的薄膜厚度、密度和粗糙度，以及高分辨率 XRD （HRXRD） 的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。

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北崎9年，日本会社20年

优势：

1、以下三大类前6项均为日本原厂授权代理销售；其它为厂家项目授权代理销售；

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购，可提供关单和产地证明。

光源类：

1、EYE岩崎——UV灯、照度计 （备库销售）

2、SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 （备库销售）

3、CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供试样）

4、REVOX莱宝克斯——光源箱

5、SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6、POLARION普拉瑞——强光灯

7、FUNATECH船越龙——目视检查灯  （备库销售）

8、USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9、ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10、YAMADA依梦达——光源 （备库销售）

仪器仪表类：

1、SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪  

2、TOKI东机产业——粘度计

3、SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 （备库销售）

4、SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5、DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6、SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 （备库销售）

7、IIJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8、TORAY东丽——气体分析仪

9、HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  （备库销售）

11、KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  （部份备库销售）

12、USHIO牛尾——照度计 （备库销售）

13、ORC欧阿希——照度计 （备库销售）

14、AND爱安德——水分计、天平、粘度计 （备库销售）

15、YASKAWA安川——磁性开关 （备库销售）

16、RKC——热电偶、温控器 （备库销售）

17、EXCEL——听音机 （备库销售）

小设备类：

1、SIBATA柴田——环境净化设备、大流量采样器、微型泵 （部份备库销售）

2、YAMATO雅马拓——恒温箱、干燥箱、气氛炉

3、NEWKON新光——打孔机、钢印机

4、MUSASHI武藏——点胶机

5、KAIJO凯捷——清洗机

6、TSUBOSAKA壶坂——对比度仪

7、EYELA东京理化---旋转蒸发仪

8、NIDEC尼得科——减速机

9、AKiribis雅科贝斯——加工平台、高速直驱电机

10、OTSUKAEL大塚——光学膜厚仪、粒度仪

专注领域如下：

仪器相关：

山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）

备件设备相关：

柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN

光源相关：

岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE

电气控制：

SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）