日本原装ATOMAX 半导体喷涂元件 AM6

含有以水或低粘度液体为首固体物浆料·为了实现乳液、润滑脂状高粘性液体的颗粒化喷雾，实现稳定的喷雾，不堵塞、前倾、下落，从非常的理念开发的外部混合涡流式小型精密二流体喷。

以往一般喷嘴的喷雾口径较小，微细颗粒从较小的喷雾口喷雾，但ATOMAX喷嘴即使在小流量喷雾的喷嘴中，口径也大于1mm。流量喷雾喷嘴的口径在6mm以上非常大，与以往喷嘴的喷雾口径相比，是10倍至200倍，因此在各种性状的液体微粒化时不会造成堵塞。另外，喷结构内的流路是直的。

·各型式均为喷雾液、尽管喷雾气体的量有所差异，但通过控制喷雾液量和气体流量的供给量的比例，在水等低粘度的液体中，可以通过一个喷嘴喷射平均粒径为5um到雨粒程度的粒子。

精密涂层

由于可以精que地雾化和喷射少量液体，因此可以在半导体和电子元件制造过程中通过喷涂形成薄膜。

与其他喷涂系统相比，喷涂易于控制，设备配置也很简单。它的特点是使用一个喷嘴的条件范围很广，从厚涂层到薄膜。

精密设备清洗

尖锐的粒度分布使其适用于需要精que度的精que清洁。与常规喷嘴相比，Atmax喷嘴具有雾化所需的压缩气体流量低，因此冲击力小，射流流速慢。

使用*的液体剂进行涂层工作

有两个主要组成部分。标准喷嘴材料是SUS316L，因为它具有非常简单的组件结构，但是可以使用与使用环境相匹配的材料来制造它。另外，在液体接触部分中不使用O形圈。

使用细颗粒的加工工作

可以容易地连续注入包含固体的浆液。为了通过喷雾获得雾化，从小孔口喷射是通常的理论，但是Atmax喷嘴能够雾化大直径的喷射。

Atmax喷

Atmax Nozzle AM型能够精que地喷洒极少量的液体药剂，并获得平均粒径约为5μm的细颗粒。它是一个非常小的喷嘴，可以在20至750瓦的空气压缩机中运行。