GES501W48V0180 APC
GES501W48V0180 APC 控制系统程序接受来自 PLC、HMI的指令GES501W48V0180 APC ,接收来自数据 管理器的数据以及现场的I/O 信号,为马达提供自动或手 动的速度设定值。速度控制主要实现速度设定点的计算、 辊道的自动/手动的控制等主要功能。

是整个轧线系统中的关键部分,要求具有较好的系统 结构及系统的快速响应,保证位移精度等各项工艺要求。 位置控制是将被控对象调节到设定的位置,要求在*短 的时间内,使被控对象完成定位动作,且符合技术要求 规定的位置精度要求。

Varian Turbo Pump TV 301 7698918
Edwards iQDP80 QMB500 Dry Vacuum Pump
Equipe PRI Automation Wafer Prealigner PRE-200-B
Nikon NSR S204B Wafer Mask Reticle Indexer
Yaskawa Robot Controller XU-CM7001
AE VHF 2060 RF Generator 3150852-005A 0190-14416
Asyst Transfer Robot UTX-F5500-
Shimadzu Vacuum Turbopump TMP 280-L
AE Apex 3513 RF Generator 3.5kW 0920-00005
Brooks Automation Robot ABM-405-1-S-CE-?S293
Yaskawa Robot Controller XU-CN1170A 0190-14740
Yaskawa AC Servo Gearmotor SH07SB-GA75AC 1080-01297
Yaskawa Transfer Robot Track Rail XU-ACL4722
Yaskawa Robot Controller PAC/ELC2 SRC-II 006
Brooks PRI 300mm Prealigner PRE-300B-CE
Equipe PRI Automation 300mm Prealigner PRE-301B
Nikon Yaskawa XU-CM5500 Robot Controller 4S064-734
ENI DCG-200Z DC Plasma Generator 10kW DCG-200
Lam 4420 Top Chamber Assy. 853-027402-002-?2-C185 200mm
