日本ULVAC爱发科Model:LR3601-TR多级罗茨型干泵 北崎热卖

来源：北崎国际贸易（北京）有限公司
发布时间：2025-08-19 11:50:18

多级罗茨型干泵Model:LR

通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

特点

  • 低温区域均热化（Model:LR）
    在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

  • 氦气密封
    通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

  • 瞬停对策
    采取了1000msec以内瞬停对策。

  • *的耐腐蚀性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

  • 通信功能
    可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

  • 成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）

  • 缩短备料下料室的排气时间

  • 作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）

规格

型号LR60LR90LR180LR421LR421-T
*
排气速度		50Hz62 m3/h
(1030 L/min)		112 m3/h
(1860 L/min)		183 m3/h
(3100 L/min)		440 m3/h
(7333 L/min)		440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)		126 m3/h
(2100 L/min)		237 m3/h
(3950 L/min)
到达压力5.0 Pa
*排气压力 （吸入圧力）　大气压
*排气口压力
（排出圧力）		1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排气口KF40VG50
质量180 kg245 kg335 kg415 kg
电源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值稳定时6.9 A
(at 200V)		11.2 A
(at 200V)		18.9 A
(at 200V)		20.8 A
(at 200V)
*值7.3 A
(at 200V)		11.8 A
(at 200V)		20.6 A
(at 200V)		48.5 A
(at 200V)
冷却水一次压力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水出入口压差>0.1 MPa>0.2 MPa
冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹扫气一次压力0.1~0.5 MPa
二次压力0.05~0.1 MPa
氮气吹扫轴5 SLM
气镇0~45 SLM没有0~45 SLM

*1 请订购时。



型号LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)		LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
机械
增压泵		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)		PRC-036DPRC-036D
(D-T)
*
排气
速度		50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)		653 m3/h
(10,900
L/min)		1,012 m3/h
(16,900
L/min)		1,701 m3/h
(28,350
L/min)		3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)		701 m3/h
(11,700
L/min)		1,051 m3/h
(17,500
L/min)		1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到达压力0.67 Pa
*排气压力
（吸入圧力）		大气压
*排气口压力
（排出圧力）		1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG80
(KF80)		VG100
(KF100)		VG150
(KF100)		VG150
排气口KF40KF50
MBP表面处理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×		×TR:×
TTR:〇
质量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
电源
*2		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值稳定时7.0 A
(at 200V)		12.3 A
(at 200V)		13.7 A
(at 200V)		21.4 A
(at 200V)		31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
*值9.6 A
(at 200V)		19.0 A
(at 200V)		24.2 A
(at 200V)		39.8 A
(at 200V)		58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水
一次压力		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水
出入口压差		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹扫气一次
压力		0.1~0.5 MPa
二次
压力		0.05~0.1 MPa
N2
吹扫		轴5 SLM
气镇0~45 SLM没有 *30~45 SLM没有 *30~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。
*2 请订购时。
*3 根据用途，使用气镇的规格也可报价。



配饰

■消音器 (选项)

型号材質表面处理重量
(kg)		法兰
接口		LR
300		LR
600		LR
1200		LR
1800		L&
3601		LR
60		LR
90		LR
180		LR
421		LR
421-T
RS-01 +
kitA		SUS
304		GBB处理4.1
kg		KF40〇----〇〇---
RS-01 +
kitB		KF40-〇〇-------
RS-02 +
kitA		8.3
kg		KF40〇------〇--
RS-02 +
kitB		KF40-〇〇〇------
RS-03 +
kitA		磨板12.5
kg		KF50--------〇〇
RS-03 +
kitB		----〇-----



排气速度曲线

  • LR60

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR60_curve.png

  • LR90

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  • LR180

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR180_curve.png

  • LR421-T

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR421_curve.pngline; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">

  • LR300 / LR600

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR300_600_curve.pngline; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">

  • LR1200

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR1200_curve.png

  • LR1800

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR1800_curve.png

  • LR3601(-R / -TR / -TTR)

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(51, 51, 51); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR3601R_TR_TTR_curve.png

  • LR3601(-T / -TT)

line; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: inherit; font-stretch: inherit; line-height: inherit; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; color: rgb(102, 102, 102); text-decoration-line: none; word-break: break-all;">LR3601T_TT_curve.png


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