ULVAC爱发科 日本原装进口大气压皮拉尼真空计SWP16

ULVAC爱发科 日本原装进口大气压皮拉尼真空计SWP16

ULVAC爱发科 日本原装进口大气压皮拉尼真空计SWP16

ULVAC爱发科 日本原装进口大气压皮拉尼真空计SWP16

ULVAC爱发科 日本原装进口大气压皮拉尼真空计SWP16

产品特点：

皮拉尼真空计可测量从大气压到5×10 _-2
Pa的宽范围压力。此外，该真空计去除了传统控制器的操作和显示部分，将其缩小到*少的必要功能，从而可以“降低成本”和“节省空间”。
[特点] -广域测量：可以测量
从大气压到5 x 10 _-2 Pa的广域。
- 节省布线：集成传感器和控制器可减少布线、空间和功耗。
・提高可视性：配备LED，可以检查异常情况。
・可进行一键式调整：可通过一键式进行气压调整和零点调整。
・维护：探头更换方便。
- 灯丝材料采用耐腐蚀性强的铂金。
・测量值输出信号：压力为标准配备，日志输出为DC0至10V。
・提高耐冲击性：采用高耐冲击性的结构设计。
・控制输出信号：可输出2个设定点。
- 兼容标准：符合CE标准。
[应用] -
用于太阳能电池、FPD、半导体和电子元件等各种设备的低真空区域的过程控制。
・用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制。
・用于在线型、单晶圆型等具有多个工艺室的各种制造设备的低真空区域的工艺控制。

规格/尺寸信息

种类

[压力传感器] 压力传感器

传感器/监视器结构

分离型/连接器连接

工作温度范围（℃）

10～40

工作湿度范围（%）

15～80

测量压力范围（Pa）

5.0×10 ^-2～1.0×10 ⁺⁵

电源电压

DC18〜30V

外形尺寸宽×深×高（毫米）

70×46×28

规格

无操作/显示（带探头）

控制输出信号

2个设定点

串行通讯规格

没有任何

工作温度范围（℃）

10～40

测量头

包括 SWP-16