英福康INFICON真空计PSG500使用须知

英福康INFICON真空计PSG500使用须知

介绍：

‌真空计 ‌，也称为‌真空表‌或‌真空规管‌，是一种专门用于测量气体压强或真空度的仪器。它通过测量封闭空间内气体分子运动产生的压力来间接反映真空度的高低。真空计在科研和工业生产中广泛应用，用于控制真空环境，确保实验或生产过程的稳定性和确性。‌利用气体动力学效应的真空计‌：如‌皮拉尼电阻规‌和‌热电偶规‌。皮拉尼电阻规通过测量热丝在不同气压下保持的温度变化来推算气压；热电偶规则直接测量热丝的温度变化

校准：

校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。

满度校正。校准完零点后，需对其满度校正。按置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。按“满度”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示1.0^5 Pa时，表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计，可通满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位过操作面板上的电位器旋钮手动调整。

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