EBARA荏原 干式真空泵 EST200WN

EBARA荏原 干式真空泵 EST200WN

EBARA荏原 干式真空泵 EST200WN

干式真空泵凭借其无油、高效、环保等显著优势，在多个行业中得到了广泛应用。以下是干式真空泵在一些主要行业中的具体应用实例。

在半导体制造行业中，干式真空泵的应用至关重要。半导体生产过程中需要极高的洁净度和的真空环境，以避免任何微小的污染影响芯片的质量和性能。干式真空泵在晶圆加工、薄膜沉积、离子注入和光刻等关键工艺中发挥着重要作用。例如，在化学气相沉积（CVD）过程中，干式真空泵能够有效去除反应气体和副产物，确保薄膜的均匀性和纯度。此外，干式真空泵在蚀刻工艺中也广泛应用，通过提供稳定的真空环境，确保蚀刻过程的控制和高效进行。

主要特点

无油污染：干式真空泵在运行过程中不使用油或其他液体介质，避免了油蒸气对工艺环境的污染，特别适合对洁净度要求极高的行业，如半导体和制药。

低维护成本：由于无需定期更换油液或处理废油，干式真空泵的维护成本较低，且运行更加可靠。

环保性能优越：干式真空泵减少了油类废弃物的产生，符合现代工业对环保和可持续发展的要求。

高效节能：干式真空泵通常采用*的设计和材料，具有较高的抽气效率和能源利用率。

适应性强：能够处理含有粉尘、颗粒或腐蚀性气体的介质，适用范围广泛。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工业设备制造商，成立于1912年，部位于东京。凭借百年技术积淀，荏原以“为地球环境和社会基础设施提供创新解决方案”为使命，业务涵盖水泵、风机、压缩机、环保设备及能源系统等领域，产品以高可靠性、节能性和*技术闻名全球。
核心业务与技术优势
荏原的核心产品包括：
流体机械：全球*的水泵及系统解决方案，广泛应用于市政供水、工业循环、污水处理等领域，其高效节能设计显著降低碳排放。
环境工程：提供污泥处理、废气净化等环保技术，助力可持续发展。
能源设备：蒸汽轮机、燃气压缩机等产品服务于石油、化工及新能源产业。
半导体制造设备：高纯度真空泵等产品支撑电子行业精密制造。