ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM300B

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM300B

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM300B

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。

与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。

这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

这是一种使用陶瓷滚珠轴承的复合翼型涡轮分子泵。

通过将控制器和泵集成在一起，可以节省空间。

*的高背压特性也使得减小辅助泵的尺寸成为可能。

长处

由于对安装方向或

安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。

带有

车载控制器的控制器安装在涡轮体上，可有效减少配线和缩小排气系统的尺寸。

高压缩比和高排气压力

压缩比以及在高背压下运行的能力使辅助泵的小型化成为可能。

提供三种类型的法兰：

VG、ICF 和 ISO-K，有三种类型的进气法兰可供选择。

它旨在减少碳氢化合物的回流，不仅在清洁真空

运行期间，而且在泵停止时也是如此。

用

主要用于分析设备、研发设备、实验室设备等的排气系统。

气相沉积设备、溅射设备等的主要排气系统

用于 H2 和 He 等轻气体的主排气系统