测量工业显微镜属于几何量计量器具，其计量需遵循*发布的强制性 / 性标准及计量 / 校准规程，核心依据包括以下两类：
这类标准规定了测量工业显微镜的设计、制造、性能指标及检验方法，是产品生产和验收的基础：
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GB/T 22056-2023《显微镜 光学和机械性能测试方法》
覆盖显微镜的光学性能（如分辨率、放大率误差、像差、照明均匀性）和机械性能（如载物台移动精度、调焦机构稳定性）的测试方法，是判断显微镜基础性能是否达标的核心依据。
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GB/T 19863-2021《显微镜 术语》
统一显微镜（含测量类）的术语定义（如 “测量精度”“工作距离”“视场直径”），避免计量过程中因术语歧义导致的误差。
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GB/T 32076-2015《工业测量显微镜 技术条件》
专门针对 “工业测量用途” 的显微镜，明确其测量范围、示值误差、重复精度、环境适应性（温度、湿度、振动）等关键指标，例如规定 “测量范围≤100mm 时，示值误差应≤±(3+L/100)μm”（L 为测量长度，单位 mm）。
这类文件由*计量行政部门发布，是计量技术机构对显微镜进行 / 校准的直接依据，确保测量结果的溯源性：
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JJG 561-2019《工具显微镜规程》
适用于 “以光学成像为原理，用于测量零件尺寸、角度、形状的工具显微镜”（含工业测量显微镜），规定了项目（如放大率、示值误差、十字线对准误差）、工具（如标准玻璃尺、标准角度块）及合格判定标准。
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JJF 1937-2021《测量显微镜校准规范》
补充 JJG 561 的适用范围，涵盖更小型、型测量显微镜（如半导体行业用显微测厚仪），明确校准流程、不确定度评定方法，更侧重 “非强制” 场景的校准需求。https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/thickness/
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