日本sanyu-electron台式快速涂布机 SC 系列
来源：深圳市秋山贸易有限公司
发布时间：2022-04-13 10:44:44
日本sanyu-electron台式快速涂布机 SC 系列
特征
DC飞溅类别中*小的紧凑型号
配备皮拉尼真空计，确保成膜条件的再现性
标配手动快门
您可以使用的样品台和载物台轻松更改 TS 之间的距离。
由于它可以镀钨，它也可以用来制备高分辨率 SEM 的样品。
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等的应用
基本规格
| 阴极 | φ2英寸直流磁控管/平板式电极 |
| 适用对象 | Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计 |
| 压力控制 | 针阀手动控制 导入直径 外径 φ6mm 一键式接头 |
| 工艺气体 | 氩气 |
| 真空泵 | 直连旋转泵：20L/min（带自动泄漏） |
| 腔室尺寸 | 内径φ90×D90mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开闭式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm |
| 重量 | 身体：9 公斤 RP：9 公斤 |
特征
DC飞溅类别中*小的紧凑型号
配备皮拉尼真空计，确保成膜条件的再现性
标配手动快门
您可以使用的样品台和载物台轻松更改 TS 之间的距离。
由于它可以镀钨，它也可以用来制备高分辨率 SEM 的样品。
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等的应用
基本规格
| 阴极 | φ2英寸直流磁控管/平板式电极 |
| 适用对象 | Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计 |
| 压力控制 | 针阀手动控制 导入直径 外径 φ6mm 一键式接头 |
| 工艺气体 | 氩气 |
| 真空泵 | 直连旋转泵：20L/min（带自动泄漏） |
| 腔室尺寸 | 内径φ90×D90mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开闭式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm |
| 重量 | 身体：9 公斤 RP：9 公斤 |
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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