LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L

来源:高斯摩(成都)国际贸易有限公司
发布时间:2025-05-20 11:54:42

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L

质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后,部分的气体从分流器导入质流传感器,由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号,反馈调节控制阀的开度,以此进行流量的控制。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L

典型应用场景

1. 半导体制造:

晶圆刻蚀工艺(Cl₂、CF₄等特种气体控制)

CVD沉积(SiH₄/N₂O流量比控制±1%)

离子注入(BF₃/PH₃配气)

2. 新能源领域:

燃料电池氢气供应(动态响应<50ms)

3. 制药行业:

生物反应器气体供应(O₂/CO₂/N₂三联控)

4. 科研实验:

催化反应研究(多路气体并行控制)

质谱仪载气调节(0.1-10mL/min微流量)

环境模拟实验(温湿度联动控制)

温度 *下压差 *压差 精度 控制范围 *小F.S. *小F.S. 密封件
5~50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*F.S. 5SCCM 400SLM Au



技术发展趋势

智能化升级:

集成AI预测性维护功能

5G远程监控与参数优化

微型化发展:

MEMS流量传感器(芯片级集成)

适用于便携式分析仪器

LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能胶带、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。凭借过半个世纪的技术积累与创新,LINTEC已成为电子、汽车、建筑、印刷包装等行业的核心材料供应商,以*的产品质量和*的解决方案闻名。
核心技术领域
LINTEC的核心业务涵盖三大方向:
电子材料:生产半导体封装胶带、光学薄膜、导电胶带等,广泛应用于智能手机、平板电脑及半导体制造,助力高精度电子元件加工。
工业胶带:提供汽车粘接、建筑密封等高性能胶带,以耐候性、强粘着力著称,服务于丰田、本田等企业。
印刷与包装材料:开发环保型标签、装饰膜等,兼顾美观与功能性,适用于食品、医药等行业。

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