LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L
质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。
质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后,部分的气体从分流器导入质流传感器,由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号,反馈调节控制阀的开度,以此进行流量的控制。
典型应用场景
1. 半导体制造:
晶圆刻蚀工艺(Cl₂、CF₄等特种气体控制)
CVD沉积(SiH₄/N₂O流量比控制±1%)
离子注入(BF₃/PH₃配气)
2. 新能源领域:
燃料电池氢气供应(动态响应<50ms)
3. 制药行业:
生物反应器气体供应(O₂/CO₂/N₂三联控)
4. 科研实验:
催化反应研究(多路气体并行控制)
质谱仪载气调节(0.1-10mL/min微流量)
环境模拟实验(温湿度联动控制)
| 温度 | *下压差 | *压差 | 精度 | 控制范围 | *小F.S. | *小F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
技术发展趋势
智能化升级:
集成AI预测性维护功能
5G远程监控与参数优化
微型化发展:
MEMS流量传感器(芯片级集成)
适用于便携式分析仪器
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能胶带、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。凭借过半个世纪的技术积累与创新,LINTEC已成为电子、汽车、建筑、印刷包装等行业的核心材料供应商,以*的产品质量和*的解决方案闻名。
