TG50F日本大阪真空OSAKA电子枪排气电离源排气用任何方向类型涡轮分子泵北崎热卖

任何方向类型 TG-F 系列

使用油脂润滑球轴承，用于小型、轻便和低成本的泵。抗冲击设计使涡轮分子泵能够安装在移动设备或运动部件上。产品阵容提供从 50 L/s 到 2400 L/s 的型号。

润滑脂润滑球轴承型涡轮分子泵的横截面

产品阵容

TG50F

• 任何方向

• 紧凑的尺寸

• 节能

• 快速启动

• 带排气口快速关闭

• 用于涌入空气的耐用结构

• 串行通信

※RS232C串行接口

应用

• 半导体生产

• 电子枪排气、电离源排气

• FPD制造

• 表面处理、表面改性

• 各种电子元器件的制造

• 分析、检测设备

• 灯具生产、光学元件生产

• 加速装置、辐射设施、核聚变研究

• 热处理

• 研究与开发

*如果排出腐蚀性气体，请选择我们的化学用TG-M或TG系列。

• 规格

• 尺寸

• 性能曲线

• 控制器

*1 ： 使用100L/min的前级真空泵时。

[使用环境温度]

确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C，水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水*温度为30°C，冷却水允许温度范围为10-35°C。

[对应气体]

一些使用气体会使润滑脂和内部零件变质。请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。