TG553日本大阪真空OSAKA油润滑型RS232C串行接口涡轮分子泵北崎热卖

油润滑型TG系列

使用油润滑滚珠轴承。化学用途型号有 200 L/s 至 5500 L/s 的每个级别，用于排放腐蚀性气体的应用。

油润滑球轴承型涡轮分子泵的截面

产品阵容

TG553型

■腐蚀性气体的耐腐蚀型。

■经久耐用的结构，适合涌入空气。

■坚固，耐外部冲击。

■串行通信
※RS232C串行接口

■符合*的安全标准
NRTL/SEMI-S2/CE

应用

■半导体生产

■电子枪排气、电离源排气

■FPD制造

■表面处理、表面改性

■各种电子元件的制造

■灯具生产、光学元件生产

■加速装置、辐射设施、核聚变研究

■热处理

■研究与开发
*TG-F、TG-M、TGkine系列可用于清洁工艺。

• 规格

• 尺寸

• 性能曲线

• 控制器

*1 ： 使用500L/min的前级真空泵时。

[使用环境温度]

确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C，水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水*温度为30°C，冷却水允许温度范围为10-35°C。

[对应气体]

某些类型的要排出的气体可能会损坏泵。请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。