EBARA荏原 废气处理设备 G-WS1000
来源：北崎国际贸易（北京）有限公司
发布时间：2025-04-25 11:13:59
产品介绍
可以低成本引进并运行的湿式废气处理装置。采用荏原独有的无需燃料，且在燃烧式废气处理装置方面积累10年以上的副产品对策，实现了较长的维护周期。有助于稳定运转，帮助削减维护费用及人力时间。
并且，维护空间**于装置正面。即使在有限的厂房空间中，也能够实现高灵活性的布局。
处理对象气体：NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HCl等可在常温下处理的水溶性气体
G-WS型
节省空间的湿式废气处理装置，是低成本处理水溶性气体的理想选择。
湿式废气处理装置
一次性处理多种气体
副产品对策
维护间隔长
运行成本低
初期投资成本低
可支持CE标志/SEMI-S2/NRTL
规格表
| 型号 | 单位 | G-WS1000 | |
| *处理风量 | L/min | 1,000 | |
| 连接流入口数 | 4 | ||
| 外形尺寸 | mm | W914×D736×H1,727 | |
| 容量 | 水量 | L/min | 1 - 10 |
| 排水量 | L/min | 1 - 10 | |
| 氮 | L/min | 15-50 | |
| 电源 | 1.8-3.5kW、3相AC 200V（50/60Hz） | ||
| 排气管道（已处理气体） | m3/min | 1.5 | |
| 排气管道 （框体排气） | m3/min | 1.3 | |
| 主要的可处理气体 | Epi | HCl、DCS | |
| CVD | WF6、 NH3、 TiCl4、 BCl3、 ClF3、 SiF4、 Cl2*、 F2* | ||
| Etching | BCl3、 HCl、 HF、 HBr、 SiF4、 Br2*、 Cl2*、 F2* | ||
| Asher | NH3 | ||
| 无法进行湿式处理的气体 | H2、 SiH4、 PH3、 GeH4、 CH4、 PFCs （CF4、 SF6、 NF3） etc. |
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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