EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20P

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20P

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20P

干式真空泵是一种在抽气过程中不使用任何油或其他液体作为工作介质的真空泵。与传统的油封式真空泵相比，干式真空泵在操作过程中不会产生油蒸气或油雾，从而避免了油污染问题。干式真空泵通过机械方式直接抽除气体，通常采用多级压缩或特殊设计的转子来实现高真空度。由于其无油、无污染的特性，干式真空泵在半导体制造、医药生产、食品加工等对洁净度要求极高的行业中得到了广泛应用。

干式真空泵的工作原理主要依赖于机械运动部件，如转子、叶片或螺杆，来压缩和排出气体。这些运动部件在泵腔内高速旋转，形成多个密闭的工作腔室。随着转子的转动，气体被吸入工作腔室，随后被压缩并排出泵外。由于整个过程无需任何液体介质，干式真空泵能够提供洁净的真空环境，避免了油污染和介质残留问题。

应用领域

半导体制造：在半导体生产过程中，干式真空泵用于晶圆加工、薄膜沉积、蚀刻等工艺，确保高洁净度的真空环境。

制药行业：用于药品干燥、蒸馏和包装等环节，避免油污染对药品质量的影响。

化工行业：适用于腐蚀性气体或易凝结气体的抽除，满足化工生产中的特殊需求。

食品加工：在食品包装和脱气过程中，干式真空泵确保食品的安全和卫生。

科研领域：用于实验室的高真空实验，提供无污染的真空环境。