北崎供应日本ORC UV-351紫外线测量器
北崎供应日本ORC UV-351紫外线测量器
它是一种小型、轻便的手持式测量仪器,受光部和主体一体化。 该测量仪器与 UV 光刻设备和 UV 输送机兼容。
| ◆ 特点 |
| ・ | 可以管理光刻设备、UV 传送带等的照度和光强度。 |
| ・ | 它是一种小巧、轻便、轻薄的手持式类型。 |
| ・ | 您可以根据应用选择 UV-351(相当于 UV-SD35)、UV-351-25(相当于 UV-SD25)和 UV-351-42(相当于 UV-SD42)。 |
| ・ | 可选择多种测量模式,如光强测量、照度测量、峰值照度测量等。 |
| ・ | 它具有金属机身,耐热,结构坚固。 |
| ◆ 关于 SD 型和 SN 型 |
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SN 模型已被长期使用我们的光刻设备和辐照设备的客户广泛采用,并确保了工艺管理的连续性。 对于在半导体和液晶基板的制造过程中已经使用其他公司制造的测光表,并且关心确保与这些测量仪器的数据兼容性的客户(SD 型也用于我们光刻设备中液晶基板的投影光刻设备和外围光刻设备)的客户,以及使用全新测光表的客户,使用 SD 型。 |
| ◆ 关于 SD 型和 SN 型的指示值 |
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为了保证旧过程数据的兼容性,使用 SN 型为 SD 型提供指示值(在相同测量条件下测量用作校准辐射源的高压紫外灯的 365 nm 发射线时显示的照度值: mW/cm2 的 mW/cm2 )。 |
| ◆ 与其他公司的测光表和测光表的数据兼容性 |
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与测光表和可见光测光表(以 LUX 为单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等亮度的测光表和测光表)不同,适用于所有测光表和紫外线测光表的标准尚未建立(似乎正在为少数有限的应用进行 JIS 转换工作)。 即使每家公司的相对光谱灵敏度都是为了通过主要由 365 nm 发射线组成的光源测量照度,也从测量的峰值波长(相对光谱灵敏度特性用 1 表示的波长)开始,短波长侧(约 300 nm ~ 310 nm)和长波长侧(约 380 nm ~ 400 nm)的上升, 下降的波长和前后的曲线略有不同。 此外,在设计方面也做出了努力,使感光器的感光角度特性(据说是 COSθ 特性)更接近理想曲线,但现实情况是它们尚未实现。 |
| ◆ 规格 |
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测量波长范围 | 310~385nm (相当于 UV-SD35) |
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测量光范围 | 1~19999 毫焦耳/厘米2 |
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测量照度范围 | 0.1~100.0 毫瓦/厘米2 |
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对准精度 | 紫外线标准品的 1.5% 以内± |
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重复性 | 1.5% 以内± |
| ◆ 紫外测量仪器 光电探测器 光谱灵敏度特性 |
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