EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT2400M

EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT2400M

EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT2400M

涡轮分子泵是一种高真空泵，利用高速旋转的涡轮叶片与气体分子碰撞，将气体分子从进气口推向排气口，从而实现高真空的获取。它由德国物理学家贝克（W. Becker）于1958年发明，是现代高真空和高真空技术中的核心设备。涡轮分子泵通常与前置泵（如干式泵或旋片泵）结合使用，以在宽压力范围内实现高效抽气。涡轮分子泵以其高真空性能、无油污染和高效抽气的特点，成为现代高真空和高真空技术中不可或缺的关键设备。它在半导体制造、科学研究、航空航天和光学镀膜等领域发挥着重要作用。随着技术的不断进步，涡轮分子泵正朝着更高效率、更智能化和更环保的方向发展，为未来高科技产业提供更强大的支持。

涡轮分子泵特点

高转速：涡轮分子泵的转子转速通常高达每分钟数万转，甚至过10万转，以确保气体分子能够被有效捕捉和排出。

无油污染：与油封式真空泵不同，涡轮分子泵在运行过程中无需油液润滑，避免了油蒸气对真空环境的污染，特别适合高洁净度要求的应用。

宽压力范围：涡轮分子泵能够在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范围内高效工作，与前置泵配合可实现从大气压到高真空的抽气。