
TND型采用**燃烧方式,属于低氮氧化物、低一氧化碳排放的燃烧式废气处理装置。凭借各种耐腐蚀措施与副产物处理措施,维护间隔达到传统产品的3倍以上,加上公用工程消耗低的低运行成本方式,能够有效降低使用成本。产品阵容包括:TND-Single型(燃烧式+湿式洗涤器)、TND-Single Plus(前置清洗+燃烧式+湿式洗涤器)。在副产物较多的工艺中,也能实现低运行成本和高效处理。
| 设备名称 | 单位 | TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4 | TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4 |
| 处理方式 | 燃烧式 + 湿式 | 湿式 + 燃烧式 + 湿式 | |
| *大允许流入气体量 | L/min | 200(每个端口) | 200(每个端口) |
| 400(每台装置) | 400(每台装置) | ||
| 燃料 | 选择城市燃气/丙烷气体 | 选择城市燃气/丙烷气体 | |
| 尺寸 | W x D x H mm | 1,200 x 650 x 1,980 | 1,200 x 650 x 1,980 |
| 可处**体例 | 工艺(沉积)气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等 所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 | 工艺(沉积)气体 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など 所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等 | |
| 标准装备品 | 粉体去除用水清洗结构 | 前道粉体捕集结构 | |
| 粉体去除用燃烧器刮板 | 粉体去除用燃烧器刮板 | ||
| 选项 | 自来水、污水使用量削减单元 | 自来水、污水使用量削减单元 | |
| 粉体排放削减用风机洗涤器 | 粉体排放削减用风机洗涤器 | ||
