EBARA荏原 废气处理设备 TND-Single-A1

来源:北崎国际贸易(北京)有限公司
发布时间:2025-04-25 10:37:05

EBARA荏原 废气处理设备 TND-Single-A1

TND型

具备低氮氧化物且丰富的反应副产物处理措施,能够降低维护成本的燃烧式废气处理装置

产品介绍


TND型采用**燃烧方式,属于低氮氧化物、低一氧化碳排放的燃烧式废气处理装置。凭借各种耐腐蚀措施与副产物处理措施,维护间隔达到传统产品的3倍以上,加上公用工程消耗低的低运行成本方式,能够有效降低使用成本。产品阵容包括:TND-Single型(燃烧式+湿式洗涤器)、TND-Single Plus(前置清洗+燃烧式+湿式洗涤器)。在副产物较多的工艺中,也能实现低运行成本和高效处理。


规格

设备名称单位TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
处理方式燃烧式 + 湿式湿式 + 燃烧式 + 湿式
*大允许流入气体量L/min200(每个端口)200(每个端口)
400(每台装置)400(每台装置)
燃料选择城市燃气/丙烷气体选择城市燃气/丙烷气体
尺寸W x D x H mm1,200 x 650 x 1,9801,200 x 650 x 1,980
可处**体例工艺(沉积)气体
SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等
所有洁净气体
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等
所有蚀刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
工艺(沉积)气体
WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など
所有洁净气体
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等
所有蚀刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
PFCs
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等
标准装备品粉体去除用水清洗结构前道粉体捕集结构
粉体去除用燃烧器刮板粉体去除用燃烧器刮板
选项自来水、污水使用量削减单元自来水、污水使用量削减单元
粉体排放削减用风机洗涤器粉体排放削减用风机洗涤器





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