EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT1700MK
EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT1700MK
涡轮分子泵特点
高转速:涡轮分子泵的转子转速通常高达每分钟数万转,甚至过10万转,以确保气体分子能够被有效捕捉和排出。
无油污染:与油封式真空泵不同,涡轮分子泵在运行过程中无需油液润滑,避免了油蒸气对真空环境的污染,特别适合高洁净度要求的应用。
宽压力范围:涡轮分子泵能够在高真空(10^-3 Pa至10^-10 Pa)范围内高效工作,与前置泵配合可实现从大气压到高真空的抽气。
涡轮分子泵应用领域
半导体制造:在半导体生产过程中,涡轮分子泵用于光刻、薄膜沉积、离子注入和蚀刻等工艺,提供高洁净度的真空环境。
科学研究:在粒子加速器、核聚变实验、表面物理和材料科学等领域,涡轮分子泵用于实现高真空环境。
航空航天:用于模拟太空环境,测试航天器部件在真空条件下的性能。
光学镀膜:在光学镜片、滤光片和激光元件的镀膜工艺中,涡轮分子泵提供无污染的真空条件。
分析仪器:用于质谱仪、电子显微镜和同步辐射装置等精密仪器中,确保高真空环境的稳定性。
医疗设备:在放射性同位素生产和医疗成像设备中,涡轮分子泵用于维持高真空环境。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工业设备制造商,成立于1912年,部位于东京。凭借百年技术积淀,荏原以“为地球环境和社会基础设施提供创新解决方案”为使命,业务涵盖水泵、风机、压缩机、环保设备及能源系统等领域,产品以高可靠性、节能性和*技术闻名全球。
核心业务与技术优势
荏原的核心产品包括:
流体机械:全球*的水泵及系统解决方案,广泛应用于市政供水、工业循环、污水处理等领域,其高效节能设计显著降低碳排放。
环境工程:提供污泥处理、废气净化等环保技术,助力可持续发展。
能源设备:蒸汽轮机、燃气压缩机等产品服务于石油、化工及新能源产业。
半导体制造设备:高纯度真空泵等产品支撑电子行业精密制造。
