EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT397M
EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT397M
涡轮分子泵是一种高真空泵,利用高速旋转的涡轮叶片与气体分子碰撞,将气体分子从进气口推向排气口,从而实现高真空的获取。它由德国物理学家贝克(W. Becker)于1958年发明,是现代高真空和高真空技术中的核心设备。涡轮分子泵通常与前置泵(如干式泵或旋片泵)结合使用,以在宽压力范围内实现高效抽气。
特点
高转速:涡轮分子泵的转子转速通常高达每分钟数万转,甚至过10万转,以确保气体分子能够被有效捕捉和排出。
无油污染:与油封式真空泵不同,涡轮分子泵在运行过程中无需油液润滑,避免了油蒸气对真空环境的污染,特别适合高洁净度要求的应用。
宽压力范围:涡轮分子泵能够在高真空(10^-3 Pa至10^-10 Pa)范围内高效工作,与前置泵配合可实现从大气压到高真空的抽气。
高抽气速度:涡轮分子泵对轻质气体(如氢气、氦气)和中质气体(如氮气、氧气)具有较高的抽气速度,能够快速建立并维持高真空环境。
结构精密:涡轮分子泵的转子叶片和定子叶片采用精密加工技术,确保高速运转时的稳定性和可靠性。
低振动和低噪音:现代涡轮分子泵采用*的动平衡技术和减振设计,运行时振动和噪音极低。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工业设备制造商,成立于1912年,部位于东京。凭借百年技术积淀,荏原以“为地球环境和社会基础设施提供创新解决方案”为使命,业务涵盖水泵、风机、压缩机、环保设备及能源系统等领域,产品以高可靠性、节能性和*技术闻名全球。
核心业务与技术优势
荏原的核心产品包括:
流体机械:全球*的水泵及系统解决方案,广泛应用于市政供水、工业循环、污水处理等领域,其高效节能设计显著降低碳排放。
环境工程:提供污泥处理、废气净化等环保技术,助力可持续发展。
能源设备:蒸汽轮机、燃气压缩机等产品服务于石油、化工及新能源产业。
半导体制造设备:高纯度真空泵等产品支撑电子行业精密制造。
