EBARA荏原 干式真空泵 EV-SA30

EBARA荏原 干式真空泵 EV-SA30

EBARA荏原 干式真空泵 EV-SA30

干式真空泵的工作原理主要依赖于机械运动部件，如转子、叶片或螺杆，来压缩和排出气体。这些运动部件在泵腔内高速旋转，形成多个密闭的工作腔室。随着转子的转动，气体被吸入工作腔室，随后被压缩并排出泵外。由于整个过程无需任何液体介质，干式真空泵能够提供洁净的真空环境，避免了油污染和介质残留问题。

干式真空泵的优点

干式真空泵相较于传统油封式真空泵具有诸多显著优点，这些优点使其在现代工业应用中备受青睐。

干式真空泵无需使用油或其他液体作为工作介质，因此在操作过程中不会产生油蒸气或油雾。这一特性不仅避免了油污染问题，还确保了工作环境的洁净度。在半导体制造和医药生产等对洁净度要求极高的行业中，干式真空泵的这一优势尤为重要。无油操作还意味着减少了油处理和更换的频率，降低了维护成本和停机时间。

应用领域

半导体制造：在半导体生产过程中，干式真空泵用于晶圆加工、薄膜沉积、蚀刻等工艺，确保高洁净度的真空环境。

制药行业：用于药品干燥、蒸馏和包装等环节，避免油污染对药品质量的影响。

化工行业：适用于腐蚀性气体或易凝结气体的抽除，满足化工生产中的特殊需求。

食品加工：在食品包装和脱气过程中，干式真空泵确保食品的安全和卫生。

科研领域：用于实验室的高真空实验，提供无污染的真空环境。