干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一种在抽气过程中无需使用油或其他液体作为工作介质的真空泵。与传统的油封式真空泵相比,干式真空泵具有无油污染、维护简单、环保性能优越等特点,因此在半导体制造、制药、化工、食品加工等高洁净度要求的行业中得到了广泛应用。
应用领域
半导体制造:在半导体生产过程中,干式真空泵用于晶圆加工、薄膜沉积、蚀刻等工艺,确保高洁净度的真空环境。
制药行业:用于药品干燥、蒸馏和包装等环节,避免油污染对药品质量的影响。
化工行业:适用于腐蚀性气体或易凝结气体的抽除,满足化工生产中的特殊需求。
食品加工:在食品包装和脱气过程中,干式真空泵确保食品的安全和卫生。
科研领域:用于实验室的高真空实验,提供无污染的真空环境。
之,干式真空泵以其无污染、高效和环保的特点,在现代工业中扮演着越来越重要的角色,成为高洁净度工艺中不可或缺的关键设备。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工业设备制造商,成立于1912年,部位于东京。凭借百年技术积淀,荏原以“为地球环境和社会基础设施提供创新解决方案”为使命,业务涵盖水泵、风机、压缩机、环保设备及能源系统等领域,产品以高可靠性、节能性和*技术闻名全球。
核心业务与技术优势
荏原的核心产品包括:
流体机械:全球*的水泵及系统解决方案,广泛应用于市政供水、工业循环、污水处理等领域,其高效节能设计显著降低碳排放。
环境工程:提供污泥处理、废气净化等环保技术,助力可持续发展。
能源设备:蒸汽轮机、燃气压缩机等产品服务于石油、化工及新能源产业。
半导体制造设备:高纯度真空泵等产品支撑电子行业精密制造。
